電子行業廢酸回收提純關鍵技術

 　　一、成果簡介

　　隨著半導體、液晶面板及太陽能電池等產業的蓬勃發展，其生產流程中使用氫氟酸和硝酸來作為蝕刻硅及硅化合物的使用量也會愈來愈多，混酸被使用后成為電子酸廢液時，其所含有的氫氟酸10%左右，硝酸20%-30%。對硝酸和氫氟酸廢液的治理一直是企業研究的熱點，通常采用的有化學法、蒸發法、離子交換法和溶劑萃取法等。但以上方法均具有回收的酸為混酸的缺點，即無法實現氫氟酸和硝酸的單獨分離，而將混酸中的氫氟酸和硝酸單獨分離且提純具有一定的工業應用價值，其中，氫氟酸可用于半導體工業使用它來除去硅表面的氧化物，而硝酸可被用來制取一系列硝酸鹽類氮肥。針對氫氟酸及硝酸與水共沸的物性特點，首先將廢酸溶液提濃，除去其中的重金屬鹽，再通過加鹽精餾分別得到氫氟酸和硝酸產品，加入的金屬鹽通過回收實現循環利用，可以說整套工藝可實現資源高效回收，流程簡單、能耗較低，是一個高效可行的分離工藝。

　　二、技術水平及成熟性

　　目前成果已申請國家發明專利一項，并通過了中試試研發的初步驗證認可，目前與企業完成了15噸/天的工業示范裝置，已進入成熟應用階段 。

　　三、產業化前景分析

　　目前國內對混酸回收分離的相關研究較少，且無法實現氫氟酸和硝酸的單獨分離，嚴重影響其產品的開發和新技術的推廣。利用本項目的技術可用于電子行業廢酸中氫氟酸和硝酸的單獨分離，使得該裝置可根據市場情況，及時調節生產高純氫氟酸和硝酸產品的產量，大大增加了該裝置的操作靈活性。根據氫氟酸和硝酸的市場價格，每生產一噸氫氟酸和硝酸產品，則會提高約3000元的利潤空間，具有良好的發展前景。

　　四、合作方式

　　技術轉讓，企業應提供相應的廠房、現有裝置和基礎建設等條件，我方進行工藝設計及工程設計的一條龍技術服務。